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项目名称 用于PERC电池背钝化膜制备的工程化设备
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
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项目介绍
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技术项目信息登记表(供给方)

技术项目名称 用于PERC电池背钝化膜制备的工程化设备
行业分类 一级    二级    三级 
6+1产业分类
权属人所属地域 省    市    区 
项目权属 (个人或单位名称) 中国电子科技集团公司第四十八研究所
专利情况 有   专利号:
无  (多项专利可在项目简介中列出)
专利类别 发明    实用新型      外观设计
申请日 授权日
意向价格 面议 万元
合作方式 技术转让  技术服务  技术许可  其他  合作开发


商业计划及前景
项目简介

【技术概述】针对光伏行业需求,利用军工XX型号、XX工程技术,开展用于PERC电池背钝化膜制备的链式PECVD设备的产业化研究。设备工作原理是在低压环境下,利用微波电离工艺气体,形成等离子体态,加速化学反应过程,在硅片表面形成Al2O3和SiNx双层薄膜,对电池背面形成有效钝化,减少少数载流子复合,从而提高电池光电转换效率。本项目将利用48所已经取得的成膜工艺、大流量MO源稳定精确输送、等离子体放电、链式不等速传动、超大腔体真空与破真空快速切换、低温高均匀性加热等关键单元技术,系统集成链式PECVD设备,解决行业技术瓶颈。

【主要技术指标】

产能:3200片/小时

载板规格:6×5

成膜种类:Al2O3/SiNx

均匀性(片内、片间、批间):SiNx(±4%,±4%,±3%)、Al2O3(±5%,±5%,±4%)

成膜厚度 20nm

工艺温度 350/450℃

工艺压力 0.15/0.25(mbar)

微波频率 2.45GHz

微波功率、数量 3KW×2、2+6

TMA输送方式 LFC+CEM (Bronkhost)

气体输送方式 数字式质量流量计

压力控制 VAT蝶阀自动控制

占地面积(不含自动化) 15620mm×5300mm

【适用范围】新能源、FPD、节能玻璃。

【专利状态】授权发明专利3项,受理专利2项

【技术状态】小批量生产、工程应用阶段

【预期效益】根据国家能源局制订的发展规划,2020年光伏装机容量将达到150GW,未来5年国内年均光伏安装量20GW,同时为实现用户侧平价上网的目标,只有高效率的PERC电池才能满足要求。而PERC电池生产线中除用于背钝化膜制备的链式PECVD设备尚未国产化外,其他设备均实现国产化并产业化。预计未来5年需要用于PERC电池背钝化膜制备的链式PECVD设备400台以上,市场容量120亿元人民币。按照年产10台计算,预计年产值1亿元,带动社会效益20个亿。



获得资助情况
(国家计划课题等)
项目开发阶段 产业化
样品情况 样品类型


信息有效期   2017-10-01   至   2018-10-01

项目联系人信息

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