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项目名称 整理盘、研磨垫整理器及研磨装置
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
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专利登记表(供给方)

专利名称 整理盘、研磨垫整理器及研磨装置     
国内专利
申请号/专利号
(例如:CN,JP)
CN201220053779 专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日 授权日
法律状态 已授权
行业分类 一级    二级    三级 
意向价格 面议 万元 权属人所属地域 省    市    区 
IPC分类 一级    二级    三级 
专利类别 实用新型
是否有PCT 选项:
合作方式


专利摘要

本实用新型公开了一种整理盘、研磨垫整理器及研磨装置,整理盘包括整理盘本体、金属设置层、若干研磨晶体以及抗腐蚀层,金属设置层固设于整理盘本体的正面和/或背面,研磨晶体除尖部露出外其余部分嵌设于金属设置层中,抗腐蚀层涂敷于金属设置层的外表面,还包括用于防止研磨晶体脱落的黏附层,黏附层涂敷于抗腐蚀层的外表面、研磨晶体的外表面以及研磨晶体与金属设置层及抗腐蚀层之间的间隙,通过在整理盘的抗腐蚀层的外表面以及研磨晶体与金属设置层及抗腐蚀层之间的间隙涂敷黏附层,可使得研磨晶体更加牢固的嵌设于金属设置层中,防止研磨晶体脱落,避免研磨垫和晶圆被脱落的研磨晶体刮伤,从而提高晶圆的研磨工艺的稳定性,提高产品良率。



信息有效期      至   2018-03-31

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