当前位置: 首页 > 信息大厅 > > 传送部件

项目名称 传送部件
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
免责声明:此信息由网站会员发布,所涉及的全部信息(包括图片等)仅供参考。本网站不保证此信息完全真实、有效,也不构成任何建议。详细请见本站法律声明。
项目介绍
项目图片()
项目附件()
感兴趣用户()
用户留言
价值度评分

专利登记表(供给方)

专利名称 传送部件     
国内专利
申请号/专利号
(例如:CN,JP)
CN201220494444 专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日 授权日
法律状态 已授权
行业分类 一级    二级    三级 
意向价格 面议 万元 权属人所属地域 省    市    区 
IPC分类 一级    二级    三级 
专利类别 实用新型
是否有PCT 选项:
合作方式


专利摘要

本实用新型提供一种传送部件,至少包括多个圆台防滑栓、传送部件本体和固定盘,其中,所述传送部件本体包括一平板部、开设于所述平板部上用于容置机械手的凹槽部、以及设置在所述凹槽部外平板部中的与所述圆台防滑栓相匹配的多个通槽,且所述通槽的深度略小于该圆台防滑栓的高度。与现有的传送部件相比较,本实用新型传送部件中发挥防滑作用的为圆台防滑栓,该圆台防滑栓略高于传送部件本体表面,用于直接与已对准的晶圆相接触,在传送部件频繁上下移动中,在防止晶圆在传送部件上相对位移的同时,有效避免了圆台防滑栓从传送部件本体的上表面弹出的现象,降低了圆台防滑栓与晶圆碰撞而损伤晶圆的几率,保证了化学气相沉积设备的正常运转。



信息有效期      至   2018-03-31

项目联系人信息

如果您想查询项目联系人信息,请您登录,如您还没有开通技E网账号,请立即注册

Copyright(C)2014,China Technology Exchange Information Service platform,All rights reserved.
版权所有:中国技术交易所有限公司 │ 业务洽谈:010-62679601/010-62679507
关于技E网 | 中国技术交易所网站声明网站地图联系我们加入我们广告投放网站留言
京ICP备09093569号

中技所微信公众号

技E网微信公众号